FYS-412 Industrielle plasma

Emnet behandler plasmafysikk og teknologi for plasmakilder brukt i industrielle prosesser og krever forkunnskaper tilsvarende studieretningsgruppen for plasmafysikk. Emnet omfatter kjemiske reaksjoner og likevekt i plasma, molekylære kollisjoner og en gjennomgang av ulike typer plasmakilder. Prosesser som f.eks. plasma-etsing, deponerings- og implanteringsteknikker brukt i tynnfilm-prosesser, samt sjiktdannelse og plasmadiagnostikk vil også bli gjennomgått etter behov.

Vekttall: 5	Varighet: 1 semester.
Forelesninger: 24 t.	Eksamen: Muntlig eksamen.
	Karakterform: Tallkarakterer.

Undervisningsplan
Pensumliste
Annen informasjon

Undervisning gis etter behov og kapasitet.

Detaljert studieplan for 400-emnene godkjennes av Studieutvalget ved fakultetet hver gang emnene gis. Denne prosedyren velges for å kunne tilpasse disse emnene etter ulike studenters behov.

[Instituttet] [Fakultet] [U iTø]

Institutt for fysikk, Det matematisk-naturvitenskapelige fakultet,
Universitetet i Tromsø, 9037 Tromsø, tlf. 77 64 51 50
Ansvarlig redaktør: Administrativ leder Trond Brattli
Vev-ansvarlig: Studiekonsulent Helge Johansen. Oppdatert: 21.06.2002